運用非接觸式測量技術(shù)的光學3D成像檢測儀，大多是基于光學方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現(xiàn)微納級測量，在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。

1、自動聚焦法-影像測量儀
自動聚焦法是基于幾何光學的物象共軛關(guān)系，能使得場景目標在成像系統(tǒng)中準確清晰成像的某種自動調(diào)節(jié)過程，當照明光斑匯聚在被測面時，進一步調(diào)整檢測頭與表面的距離，直至光斑像尺寸最小而得到該被測位置的相對高度。

Novator系列復合式影像儀是一款能充分發(fā)揮光學電動變倍鏡頭高精度優(yōu)勢的全自動影像測量儀。

·支持點激光輪廓掃描測量，進行高度方向上的輪廓測量；
·支持線激光3D掃描成像，可實現(xiàn)3D掃描成像和空間測量；
·支持頻閃照明和飛拍功能，可進行高速測量，提升測量效率；
·具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應更多復雜工件表面。



2、共焦激光掃描顯微法-共聚焦顯微鏡
激光共焦掃描顯微術(shù)是一項高分辨率三維光學成像技術(shù)。利用精密共焦空間濾波結(jié)構(gòu)，通過物象共軛關(guān)系濾除焦點外的反射光，提高成像的可見度。共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔，其中一個放在光源前面，另一個放在探測器前面。得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數(shù)碼相機聚焦拍攝，通過所累積的不同焦平面的圖像序列，使用軟件編譯完整的 3d 圖像。

VT6000共聚焦顯微鏡具有粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。基于激光共聚焦顯微測量技術(shù)，配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，能在滿足精度的情況下使使用場景更具兼容性。在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

3、光學顯微干涉法-白光干涉儀
干涉顯微法是光學干涉法與顯微系統(tǒng)相結(jié)合的產(chǎn)物，通過在干涉儀上增加顯微放大視覺系統(tǒng)，提高了干涉圖的橫向分辨率，使之能夠完成微納結(jié)構(gòu)的三維表面形貌測量。

SuperViewW1白光干涉儀是一個光學干涉顯微測量系統(tǒng)，基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型。主要用于對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


高精度儀器設(shè)備需求不斷推動著微納米技術(shù)向前發(fā)展，因此高精度的微納檢測技術(shù)也成為了必然需求。根據(jù)不同測量要求，每種高精度測量儀器都有其適用性，在選設(shè)備的時候要根據(jù)具體需求來選擇。